plasma cleaner

PIE Scientific 桌上型等離子清洗機

 Tergeo Plus plasma cleaner s            Tergeo EM version2 s

用途

 

適用於等離子體清洗,蝕刻,表面處理

特徵描述 

1.低成本的高性能實驗室等離子體清潔機建立在勞倫斯伯克利國家實驗室的離子體和離子源技術組

 織開發的技術基礎上

2.獨特的專利等離子體感測器技術,用於定量等離子體強度測量。

  定量資料是在科學實驗和工業生產應用中實現可重複和一致結果的關鍵。

3.在一個系統中直接浸漬模式等離子體清洗和下游模式等離子體清洗。 用於各種等離子體蝕刻,清

  潔和表面處理應用的多功能系統。

4.直觀的觸控式螢幕使用者介面,全自動操作和先進的程序控制技術,如等離子體感測器,數位壓力傳感

 器和自動MFC調節氣體流量控制。 一旦配方優化,不同使用者或不同日子的流程變化。 它支持20

 個可定制的配方。

 

相關產品:

遠端等離子icon

PIE Scientific 遠程等離子清洗機

                       Plasma02        EM KLEEN Controller small                      

用於SEM,FIB,XPS,ALD,EUVL等高真空室的遠程等離子體清洗機。

產品描述 

由PIE Scientific開發的SmartClean™技術結合了最先進的等離子體放電技術在核研究和半導體行業。我們的等離子體清潔機可以根據任何規格打敗競爭對手。 此外,我們的產品僅提供許多獨特的功能。

 

應用領域

1.    FE-SEM,FIB和TEM的原位樣品清洗。

2.    半導體設備去除污染,如CD-SEM、EBR、EBI、EUVL。

3.    高真空室清潔,以清除電子顯微鏡,XPS,AES系統上的碳氫化合物污染物。

4.    XPS、SIMS和 AES的樣品清洗。

5.    對ALD在有機溶劑清洗後,進行樣品清洗。

  

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合作夥伴