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應用專欄
Spicer SC26 主動式消磁器 改善300mm線上電子束檢測設備磁場干擾問題
2020-11-24
進入300mm晶圓廠中不難發現，當晶圓運輸天車在運作過程中，將會產生9 kHz的磁場干擾，嚴重影響周遭電子束檢測設備的性能，成為提升半導體CD節點技術的阻礙之一…
Spicer SC24 主動式消磁器 大幅降低實驗室AC、DC磁場干擾問題
2020-11-17
Spicer Consulting SC24 主動式消磁器能同時減少AC交流電和DC直流電的磁場干擾，，包含來自電梯、火車、交通工具和其他機台干擾，使電子顯微鏡恢復最高品質的成像結果。針對外部磁場變化為自動回應…