臨場多模態關聯分析——完美融合SEM / EDS與AFM的革命性技術
傳統分析需在SEM與AFM兩台設備間切換，不僅耗時、容易失真，更難以精確定位相同區域。此產品專為無縫整合至Thermo Fisher Phenom XL設計，在臨場（in-situ）條件下同步、同區獲取數據，開闢全新的微觀分析視角。
適用產業有半導體、電池材料、金屬材料、先進封裝、塗層材料、奈米科技、學術研究等。
✔ 高解析表面形貌分析
✔ 電性與磁性量測
✔ AFM + SEM + EDS 整合分析
✔ 真空環境臨場量測
✔ 桌上型高效能奈米分析平台
產品核心優勢
✓ Compact, Fast & Cost-effective
桌上型設計，節省實驗室空間
快速載入與量測流程
自動化操作，提高檢測效率
適用 QC（品質管制）與 FA（失效分析）
✓ In-situ Correlative Analysis
AFM、SEM、EDS 於同一環境條件下完成分析
精準定位微小特徵
避免樣品移動造成誤差
無空氣暴露風險，適合敏感材料分析
✓ Multimodal Characterization
單一平台即可獲得：元素成分分析、
表面形貌、粗糙度分析、機械性質、
導電特性、磁性特性
產品應用領域
Particle Analysis
● 藥品顆粒
● 陶瓷材料
● 電池粉體
● 塗層與塗料分析
Battery Materials
● Cathode Active Material 分析
● 導電性分佈量測（C-AFM）
● 電池循環劣化研究
● 真空環境下避免樣品氧化與污染
Steel & Metal Analysis
● Duplex Steel相別分析
● Ferrite / Austenite區分
● 腐蝕與失效分析
● 金屬材料品質檢驗
Semiconductor Failure Analysis
● 缺陷定位
● 表面特徵分析
● 電性量測與失效機制研究
規格
· 設備掃描範圍（Open loop）：100μm×100μm×20μm
· 設備掃描範圍（Close loop）：70μm×70μm×20μm
· 分辨率：0.2nm×0.2nm×0.04nm
· 最大樣品尺寸：40mm×40mm×8mm
· 最大樣品重量：100g
· 成像模式：表面形貌、粗糙度、CAFM、KPFM、FMM、PFM、EFM、F-z curves、I-V curves等
產品品牌：NenoVision
