勀傑科技團隊 /著
在過去,若要對材料進行奈米級的多維度分析,研發與檢測人員必須在掃描電子顯微鏡(SEM)與原子力顯微鏡(AFM)兩台獨立的設備之間疲於奔命。這不僅耗費極高的定位時間,更面臨樣品在空氣轉移中氧化、受潮或污染的失真風險。
為解決高階檢測的核心痛點,勀傑科技隆重引進由 Thermo Fisher Scientific 與 NenoVision(LiteScope 臨場分析專利技術) 強強聯手推出的革命性技術——AFM-in-Phenom XL 原子力掃描電鏡一體機。此設備專為桌上型 Phenom XL 設計,讓您的實驗室直接升級為「真空、臨場、一體化」的頂級表面物理與微觀化學特性分析中心!
為什麼選擇 AFM-in-Phenom XL?三大核心技術優勢剖析
桌上型、高時效、高經濟性(Compact, Fast & Cost-effective)
- 極致節省空間: 採用一體化桌上型外觀設計,擺脫傳統落地式大型設備昂貴的環境安裝限制,釋放寶貴的實驗室與廠房空間。
- 極速進樣與自動化: 極致縮短樣品抽真空與對位流程。結合直覺的控制介面,可大幅提升日常檢測效率,滿足高頻率的品質管制(QC)與產品失效分析(FA)需求。
臨場關聯分析(In-situ Correlative Analysis):零空氣暴露風險
- 「同區、同步」真空量測: 無須移動樣品,直接在同一個高真空或低真空腔體內,一次獲取同區的 SEM、EDS 、AFM 表面訊號。
- 完美對位: 精準鎖定奈米級的微小特徵,杜絕了離線分析在重新載入時所造成的對位誤差與死角。
- 保護活性樣品: 特別適合對空氣極度敏感的先進材料(如鋰電池活性材料、有機半導體),全程免受外界環境干擾。
多模態協同表徵(Multimodal Characterization)
透過單一分析平台,技術人員能自由交叉比對下列多種維度之特徵:
- 微區化學成分: 高速 SEM 顯微形貌與 EDS 能譜元素分析。
- 三維精確形貌: AFM 高解析度表面粗糙度。
- 臨場物理量測: 支持量測微區的機械性質、局部導電度(C-AFM)、功函數(KPFM)、磁性分佈(MFM)、壓電性(PFM)等。
【多層關聯圖解】直觀解讀多維度物理與化學資訊
利用 AFM-in-Phenom XL 的臨場分析技術,我們能夠在奈米級別上層層剝離、解析樣品的特性,如下圖般建立完整的空間對應:

- Topo Layer(三維表面形貌層): 獲取亞奈米級的三維精確起伏與表面粗糙度數據。
- SEM Layer(電子顯微形貌層): 二次電子(SE)與背散射電子(BSE)提供清晰的晶粒邊界與表面孔隙分布。
- C-AFM Layer(導電特徵層): 釐清材料表面的局部導電通路與阻抗分布。
- EDS Layer(能譜元素分析層): 結合能譜(如:正極活性物質鎳、電解質硫等),將化學元素分佈與導電性能、形貌精準重疊對比。
四大關鍵應用領域,全面賦能研發與品檢
💡 半導體失效分析(Semiconductor FA)
在先進封裝製程與微晶片研發中,本設備可用於亞微米級缺陷的快速定位,並透過 C-AFM / KPFM 臨場量測微區電性特徵,迅速釐清失效機制。
🔋 鋰電池與儲能材料(Battery Materials)
針對正極活性材料(CAM),可在排除大氣干擾的真空狀態下,對活性顆粒進行三維形貌觀測,並精確量測鋰離子電導率(C-AFM)在循環充放電過程中的劣化演化。
🔩 先進鋼鐵與金屬分析(Steel & Metal Analysis)
提供雙相鋼(Duplex Steel)等複雜合金的微觀相別區分(如肥粒鐵 Ferrite 與奧斯田鐵 Austenite),並用於微區孔蝕、應力腐蝕與材料斷面之失效分析。
💊 顆粒與薄膜塗層(Particle & Coating Analysis)
精確評估製藥粉體、陶瓷顆粒與奈米薄膜塗層的粒徑分佈、三維粗糙度、微區局部硬度與彈性模數。
勀傑科技,您最信賴的微觀分析技術夥伴
AFM-in-Phenom XL 一體機正式由勀傑科技代理登台!我們擁有台灣地區最專業的科技售後技術團隊與應用工程師,能針對半導體、綠能與學術機構之專案,提供量身定制的客製化檢測解決方案與實機示範(Demo)。
如果您對於AFM-in-Phenom XL主題有興趣
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